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电子气体
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高纯气体特种气体稀有气体电子气体标气/混合气同位素

砷烷


别名:砷化三氢,三氢化砷

英文:arsine

化学式:AsH3

CAS登录号:7784-42-1

外观:无色气体(常温常压)

分子量:77.94

纯度:≥99.9999%

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气体简介

砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体,有大蒜气味.与空气混合形成可燃混合气。砷烷微溶于水和有机溶剂,易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定,在230-240℃下开始分解。砷烷是一种溶血性毒物,可中毒神经。 用 途: 砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂,硅中“N”型扩散,离子注入,生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。 工业上生产的砷烷用于有机合成。


包装及贮运
包装标志:有毒气体。副标志:易燃气体。砷烷无腐蚀性,因此大部分市售材料均可用。但是,由于砷烷主要用于半导体工业,因此推荐采用不锈钢材质。在高纯系统中要用不锈钢减压器。 由于砷烷是剧毒和可燃气体,因此使用和贮存仅可在通风的气瓶柜、排风柜或有强制通风的房间内。由于它与空气混合可形成爆炸混合气,因此应远离热源和火源。使用前所有管线、接头、设备等应彻底检漏和接地,仅可使用防火花工具和防爆设备。 运输中钢瓶阀必项保护和密封。CGA规定,装运砷烷的气瓶必须每5年试一次水压。在砷烷气瓶上禁止使用泄压部件。材料需采用耐热分解的铁、铜。设计要考虑能耐足够的高压。

用途
用于有机合成、军用毒气,及应用于科研或某些特殊实验中,集成电路,太阳能电池等。


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