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乙硅烷


化学式:Si2H6

CAS登录号:1590-87-0

分子量:62.22

外观:在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体

用途:主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。

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气体简介

乙硅烷是一种无机化合物,其化学式为Si2H6,在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定,在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300~500℃分解成为SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。


基本性质
乙硅烷为无色透明液体,在空气中自燃,着火点低于室温,遇到空气即瞬间燃烧,并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽,浓度在0.2%以上时,燃烧发出火焰;浓度在0.2%以下时,进行氧化反应生成白色的SiO2。在氯气中爆炸性地燃烧。与卤素气体爆炸性地反应,但如果是在低温,则适度地进行卤化。与SF6接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。与碱金属及汞合金反应分解生成硅烷和氢。与苛性钾作用游离出H2。与纯水和酸不反应,但与碱反应生成硅酸盐和氢。即使从玻璃中溶解出的那种程度微量碱的存在,也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl杂质的存在下,在常温也缓慢地分解。
Si2H6—→ SiH4+ (SiH2)x
乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蚀橡胶、黄油类、润滑油、铅等,但对大多数金属不腐蚀。

主要用途
1、用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。 在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。
2、在半导体工艺中用于外延和扩散工艺,也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。



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